한국기초과학지원연구원(원장 이정순) 나노환경연구부는 2002년부터 3년에 걸쳐 엔피씨(대표 김영남)와 공동으로 ‘유도결합 플라즈마를 이용한 나노분말 양산 장치’를 개발했다. 이번에 개발한 나노분말 양산장치로 만든 금속 및 세라믹 나노분말들은 계면활성제를 사용하지 않고도 물에 분산될 정도로 고분산성을 갖고 있으며 99.9%이상의 고순도를 유지하고 있는 것으로 알려졌다. 또한 그동안 기술적으로 어려웠던 13.56MHz, 10kW급 RF 전원장치를 이용했으며 중공형 임펠러 시스템에 따른 분산·분급 기술과 자유낙하 방식의 원료물질 주입으로 플라즈마 안정성 등도 종전보다 대폭 확보됐다. 특히 고주파 전원의 새로운 제어개념 및 주파수 대역사용으로 생산단가의 경쟁력 확보가 가능해졌으며 고순도, 초분산성 금속 나노분말 양산에도 성공함으로써 조기 상용화를 위한 전체공정 확립 등 산업 활용 분야가 무궁무진할 것으로 평가받고 있다. 연구팀은 이와 관련한 장비 및 물질 특허 2건을 공동출원했으며 기업 측도 응용상품 개발을 위한 조성물 특허 3건을 출원했다.