丸文은 나노튜브와 나노프레이크, 나노월과 같은 카본의 나노구조체를 자유롭게 제작할 수 있는 플라즈마 화학기상성장(CVD)장치를 발매했다. 名古屋대학 공학연구과의 堀勝 교수, NU에코 엔지니어링(愛知縣 三好町, 사장 加納浩之)과 공동으로 개발했다. 가격은 9000만 엔 정도. 이 장치는 3자 공동 개발 제 1호탄으로 앞으로도 나노 프로세스 장치를 순차적으로 시장투입해 나갈 계획이다. 이 장치는 ‘멀티카본 나노구조체 성막 플라즈마 CVD장치’. 반응실에서 카본계 가스를 플라즈마화하고, 거기에 수소 래디컬(활성화된 분자와 원자)를 주입한다. 수소 래디컬의 주입량과 기판 온도를 제어함으로써 나노 프레이크와 나노월을 기판 위에서 자유롭게 성장시킬 수 있다. 나노튜브는 촉매 부착 기판에서 제작한다. 지금까지 래디컬 밀도의 측정방법은 없었으나, 堀勝교수가 소형광원을 이용하여 측정하는 기술을 개발, 플라즈마 속의 래디컬 밀도측정을 실현했다. 이것을 마이크로 홀로캐소드 광원이라고 하며, 측정대상물과 같은 가스를 프라즈마 발광시키는 방법. 이 빛을 래디컬에 쏘아 통과한 빛의 세기로 래디컬의 밀도를 측정한다. 이 방법으로 래디컬의 절대밀도측정, 제어가 가능하게 되어 임의의 나노구조체 제조장치로 이어졌다. 전극구조의 연구로 큰 면적에 구조체를 성장시킬 수 있다고 한다. NU에코 엔지니어링은 반도체 제조장치 등의 개발, 설계, 제조를 하는 名古屋 대학발 벤처기업이다. 이 장치는 名古屋大가 기초기술을 개발하고, NU가 장치를 제작, 丸文이 판매한다. (NK)