산업기술종합연구소 마이크로 실장연구그룹의 高橋正春 주임연구원, 前田龍太郞 그룹리더 등은 유리를 나노사이즈에서 틀누름 가공하는 기술을 개발했다. 유리와 비슷한 성질인 비정질 카본을 틀로 사용하는 것으로, 틀은 집속이온빔장치(FIB)로 가공한다. 틀누름은 미세한 3차원 형상을 쉽게 만들 수 있고, 고정도의 성형품을 양산할 수 있다는 것이 특징으로, 바이오칩이나 마이크로렌즈 등 유리재료를 이용하는 다채로운 분야에서 응용을 기대할 수 있다. 에칭을 대신할 새로운 유리 미세가공법으로서 주목될 듯하다. 비정질 카본은 탄소를 고온에서 구워 굳힌 것으로 ①고온에 견딜 수 있다 ②틀누름 전후의 가열, 냉각으로 유리와 팽창방식, 수축방식이 거의 같다 ③틀누름 후 분리가 쉽다 등의 이점이 있다. 또 FIB에 의한 틀의 가공은 매끄러운 사면이나 계단상의 사면 등도 갈륨이온빔의 조사로 자유롭게 만들 수 있다. 이 기술로 깊이 350나노미터, 폭 100나노미터의 골이 300나노미터 간격으로 늘어선 틀을 만들어 유리로의 전사가공에 성공했다. 전용장치를 사용하여 590℃~600℃로 일정하게 유지한 진공 속에서 시판되는 내열성 유리를 틀누름한 후, 틀을 안정시키고 백수십 ℃까지 냉각한 뒤 틀을 떼어냈다. 유리, 틀 모두 사방 15밀리미터의 크기로, 틀누름에는 7킬로그램의 하중을 가했다. 1회의 틀누름 가공에 약 45분 걸렸는데, 대부분은 냉각시간이라고 한다. 또한 다른 조건에서 200나노미터 간격의 계단이 깊이 4.12마이크로미터까지 이어지는 틀이나 이 간격을 100나노미터로 축소시킨 매끄러운 경사면의 틀을 만들었고, 이들의 전사가공에도 성공했다. (NK)