세라믹 필름의 저온 공정과 새로운 패턴 공정에 대한 수요가 늘어나고 있는 실정이다. 그중 가장 가능성 있는 방법 중에 하나가 화학용액증착법(chemical solution deposition, CSD)이다. 최근 연구에서, 일본의 나고야 대학의 연구진들은 저온에서 CSD를 유리 같은 무기 기판과 유기 폴리머 기판 위에 UV 조사하는 방법을 함께 사용하였다. 이 공정은 간단하면서도 값비싼 진공 장비를 사용할 필요가 없다는 것이 장점이다. 또한 이 공정은 유기 화합물의 제거 공정에서 사전 열처리 공정으로 사용될 수 있는데, 이것은 유기 리간드로부터 떨어져 나온 유기 화합물이 포함되지 않은 UV로 필름을 처리하기 때문이다. 새로운 광원, Y-line 램프는 세라믹 프리커서 필름의 광반응에 사용된다. 이 공정을 사용하면 높은 굴절률을 갖는 비정질 티타늄 필름을 효율적으로 얻을 수 있고 고품질절연 막을 얻기 위한 중간과정으로 사용할 수 있다. (ACB)