日立제작소는 나노미터 사이즈의 시료의 관찰과 실험이 동시에 가능한 전자현미경을 개발했다. 나노시료의 구조와 특성의 관계 등을 상세하게 조사할 수 있다. 나노테크놀러지 분야에 도움이 되는 실험, 관찰용 현미경으로 판매를 검토한다. 시료를 세트할 부분에 전극을 넣고 전기를 흐르게 하면서 관찰할 수 있게 하였다. 산업기술종합연구소의 협력으로 미세한 전극의 끝에 직경 약 20㎚의 카본나노튜브가 달린 시료를 제작. 나노튜브에 전기를 통하게 하여 전자의 방출특성과 구조의 관계를 조사했다. 나노튜브의 표면은 주석으로 덮여 있었으나 전자를 방출함으로써 나노튜브가 노출되어 전자방출에 필요한 전압이 떨어졌다. 지금까지 나노 시료의 관찰과 실험을 동시에 하는 장치는 없었다. 효율적으로 전자를 방출하는 나노튜브를 찾는데 참고가 될 것이라고 한다. 전극을 늘리면 전자현미경을 보면서 트랜지스터를 만들 수도 있다. 트랜지스터가 미세화하면 더해지는 불순물의 위치 등이 반도체의 성질에 크게 영향을 미치게 된다. (CJ)