산업기술종합연구소 세라믹연구부문 생체기능성 세라믹연구그룹은 보텀업프로세스라는 제조 방법으로 미세구조를 가진 세라믹 가스센서 작성에 성공하였다고 발표하였다. 수용액에 기판을 침투시켜 특정위치에 원자, 분자를 쌓아올려 소자를 조립해나가는 제법이라고 한다. 반도체 재료 작성에도 응용가능. 나노테크놀로지 실용화기간 기술로서 기대할 수 있다. 이 그룹은 기판이 되는 폴리마 필름에 박막 1~3나노미터의 무기물층을 피복, 그 위에 세라믹 박막이 부착하기 힘든 유기층으로 일정 영역을 덮었다. 이 폴리마필름을 금속 산화물이 들어간 저온의 수용액에 넣으면 유기층 이외의 부분에 원자, 분자가 쌓여기판상의 특정 장소에 세라믹 센서를 제작할 수 있다. 적어도 세라믹이 없으면 안 된다고 한다. 지금까지 기판위에 제작했던 소자를 목적형상에 미세가공하는 에칭 등의 제법이 있지만 가공이 어려워 소형화에 한계가 있었다. 앞으로 동 그룹에선 초소형, 초경량으로 복수 가스를 동시 검지할 수 있는 등 고기능센서 개발에 착수한다고 밝혔다. (NK)