산업기술종합연구소는 도포열분해법을 이용하여 세계 최대급의 이트륨계 고온초전도막을 만드는데 성공했다고 발표했다. 사이즈는 세로 30㎝, 가로 10㎝이고, 임계전류밀도는 100만 A/㎠ 이상으로 실용레벨의 고성능막. 지금까지 기상법에서의 제막기술개발이 진행되어 왔는데, 기상법은 가격이 비싸고 양산화가 곤란한 등이 난점. 이에 熊谷俊彌 그룹장, 眞部高明 주임연구원 등은 발라 굽기하면 되는 産總硏이 기본특허를 가진 방법으로 고성능 제막 기술의 개발에 성공했다. 포인트는 사파이어 기판에 진공증착법으로 균일, 매끈한 세리어 중간층을 만들었다는 것. 그 위에 도포열분해법으로 이트륨계 막을 제작. 대면적 막에서의 최적화에 성공했다. 이 초전도막은 입자의 방향이 일정한 에피탁셜 성장막으로 액체질소온도에서의 임계전류밀도가 최고 190만A/㎠를 나타내었다. 대먼적막은 멀티미디어 시대의 대량의 데이터 송신에 사용할 수 있는 마이크로파 디바이스나 낙뢰 등으로부터 일렉트로닉스 기기를 보호하는 한류기 등에 대한 응용이 유력. 원가절감이 가능한 방법에서의 제막기술의 개발로 실용화가 늦어지고 있는 고온초전도의 산업이용이 촉진될 수 있을 것 같다. (CJ)