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[ 통권 175호 | ]

전압특성 발휘하는 방향으로 고도 결정축 갖춘 질화알루미늄 박막 제작 채용한 압력센서
  • 편집부
  • 등록 2003-07-07 14:21:50
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전압특성 발휘하는 방향으로 고도 결정축 갖춘 질화알루미늄 박막 제작 채용한 압력센서 산업기술종합연구소의 다기능재료기술연구그룹의 上野直廣, 秋山守人 두 주임연구원과 立山博 부부문장 등 연구팀은 전압특성을 발휘하는 방향으로 고도의 결정축을 갖춘 질화알루미늄 박막을 제작, 이것을 이용하여 압력센서를 개발했다. 맥박검출실험 결과, 실용화되어 있는 압력센서에 비해 보다 자세한 정보를 얻을 수 있다는 것을 확인했다. 맥박, 호흡, 몸의 움직임 등을 측정하는 고성능 의료용 센서 등 다양한 응용이 가능하다. (CJ)

 

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