자외선 조사로 SBT박막의 결정구조 제어 성공 산업기술종합연구소는 강유전체인 스트론튬, 비스마스, 탄타레이트(SBT)박막의 화학용액법 성막 프로세스에서 자외선(UV)를 조사하여 결정구조를 제어하는데 성공했다. 성막 프로세스에서 UV조사에 의한 결정구조의 제어는 처음이라고 한다. UV조사에 의해 간단히 차세대 강유전체 메모리 재료의 특성을 향성시킬 수 있게 된다. 産總硏의 세라믹스 연구부문 테라드리키드소스 연구팀은 화학요액법에 의한 성막 프로세스에서 백금전극을 부착한 실리콘 기판 위에 SBT막을 회전도포하고, 건조 후에 UV조사했다. 시판되는 초고압 수은등으로 파장 365, 406, 436조㎚의 피크를 가진 넓은 역대의 UV. 조사시의 온도는 150℃였다. 또한 UV 조사 후에 650℃에서 본격 소성, SBT박막을 완성했다. 결정구조는 일반적으로는 막 면에 수직인 SBT결정의 c축이 기울고, 수평인 a축이 융기되어 있었다고 한다. 강유전체는 분극의 크기에 따라 성능이 결정된다. SBT박막의 분극성분은 a축으로 이 축이 수평인 위치에서 융기되었으므로 분극특성이 발현된다. UV를 조사시키지 않고 소성하면 c축은 수직, a축은 수평방향으로 안정되어 있다. (CJ)