산업기술종합연구소는 도포열 분해법을 이용하여 세계 최대급인 이트륨계 고온초전도막을 만드는데 성공했다. 사이즈는 세로 30센티, 가로 10센미미터로, 임계전류밀도는 1평방센티미터당 100만 암페어 이상으로 실용레벨의 고성능막. 마이크로파 필터 등의 일렉트로닉스 디바이스나 한류기 등에 사용할 수 있을 것이라고 한다. 이트륨계 초전도체는 액체질소온도(마이너스 196℃) 이상에서 초전도가 되므로 실용화가 기대되고 있는 유력한 재료 가운데 하나. 지금까지도 기상법에서의 제막기술개발이 진행되어 왔지만, 기상법은 가격이 비싸 양산화가 곤란한 것 등이 단점. 따라서 熊谷俊彌 그룹장, 眞部高明 주임연구원 등은 발라서 굽기만 하면 된다는 産總硏이 기본특허를 가진 방법으로 고성능 제막기술의 개발에 성공했다. 포인트는 사파이어 기판에 진공증착법으로 균일, 평평한 세리어 중간층을 만드는 일. 그 위에 도포열분해법으로 이트륨계 막을 제작, 대면적 막에서의 최적화에 성공했다. 이 초전도막은 입자의 방향이 일정한 에피탁셜 성장막으로 액체질소온도에서의 임계전류밀도가 최고 190만 암페어를 나타냈다. 대면적막은 멀티미디어 송신에 사용하는 마이크로파 디바이스와 낙뢰 등으로부터 전자기기를 보호하는 한류기 등에의 응용이 유력. 원가절감이 가능한 방법으로의 제막기술의 개발로 실용화가 지체되고 있는 고온초전도의 산업이용이 촉진될 듯하다. (NK)