막 두께 25㎚의 광촉매 산화티탄으로 성능발휘 성공 靑山學院대학 이공학부의 重里有三 교수 등 연구팀은 광촉매 산화티탄으로 막 두께 25㎚으로 종래의 수 십 분의 1로 성능을 발휘시키는데 성공했다. 이것은 투명도전막의 성막 프로세스 기술을 가진 靑山學院대학 이외에 독일 프라운호퍼 연구소 서프텍트런스 내셔널(橫浜市 港北區)의 공동연구의 성과. 더러움이나 냄새를 분해하는 산화티탄 광촉매는 자동차용 유리, 건축용 유리 등의 용도로 시장 1000억엔 이상이 예상되지만 실현은 어려웠다. 보통의 습식법에서는 내구성이 떨어지는 이외에 결정성을 높여서 성능을 내는데 막 두께 400~600㎚이 필요한데, 색이 고르지 못하기 때문이다. 이에 대해 이번에 건식법 마그네트론 스팩터법을 확립. 성막 시에는 아모르파스 상태이지만, 300~600℃ 소성으로 결함이 없는 결정성 박막으로 바꾸는데 성공했다. 막 두께는 종래의 1/20~1/30으로, 치밀하고 강하며, 빛의 파장으로 1자리수 이상 작다. 따라서 색의 얼룩은 일어나지 않는다. 도자동차용 유리에서는 가공성형으로 600℃로 유지하기 때문에 소성 원가도 억제할 수 있다. 이번 성과는 유리창의 기름때를 방지하는 왁스나 시크하우스 증후군의 원인이 되는 실내 알데히드에의 응용이 전망되고 있으며, 이번에 각각 분해활성을 확인, 초친수성도 밝혀냈다. (CJ)