인공형석으로 스텝퍼용 촬영 렌즈 니콘은 인공형석의 자사 개발에 성공, 최첨단 스텝퍼(축차이동식 노광장치)용 촬영렌즈에 채용했다. 지금까지 이 회사는 유럽이나 미국의 유리 메이커에서 조달해 왔는데, 차세대 스텝퍼 개발에 있어 더 높은 정밀도가 요구된다는 점에서 자사개발, 생산에 나섰다. 현재의 스텝퍼 광학부에는 석영유리가 이용되고 있다. 그러나 투과율에 한계가 있고, 보다 단파장이 되는 IC선폭 100㎚ 이하의 미세가공에서는 현존 소재에서 가장 투과율이 높은 형석이 없어서는 안 된다. 특히 차세대기로서 유력시되고 있는 불소 다이머(F2) 스텝퍼의 조명, 투영계 렌즈에는 전량 형석이 필요하기 때문에 제품 개발에 나섰다. 형석을 사용한 장치에는 과제도 많다. 특히 빛의 입사각도에 의해 굴절율이 변화는 복굴절과 그에 따른 콘트라스트 저하 등이다. 단지 ‘복굴절 문제 등은 해결이 완료’(山伸彌 상무)되었으므로 앞으로는 자사제 형석을 적극 활용해 나갈 것이다. 캐논도 자회사 옵트론을 통해서 01년 여름부터 형석을 생산하고 있고, 이미 ArF 스텝퍼에 채용, 내년 봄에 완성 예정인 F2 스텝퍼에도 탑재한다. 두 대기업의 형석생산체제가 정비 되었으므로 차세대 스텝퍼 개발경쟁은 점점 더 과열될 것 같다. (CJ)