산업기술종합연구소 九州센터와 九州계측기(福岡市, 사장 岩倉正弘)은 공동으로 600℃의 환경에서 직접 사용할 수 있는 진동센서를 개발했다. 검지재료로서 고배향성 AlN의 박막을 사용. AlN은 압전성을 가지고, 고배향성을 실현했다는 점에서 화학적으로 안정되고, 특히 높은 내산성을 나타낸다. 발전소나 화학 플랜트 등 종래 불가능했던 고온 개소에서의 측정이 가능해지며, 설비진단에 이용하면 갈라짐 등을 예지할 수 있고 사고방지로 이어질 것이라고 보고 있다. 일반적으로 진동 센서의 검지재료에는 PZT계 전압재료가 사용되고 있다. 그러나 이것은 충격에 약하고, 전압성이 소실되는 온도는 약 300℃. 따라서 직접센서로서 사용할 경우는 150℃ 정도가 한계라고 알려져 왔다. AlN은 공유결합이 주로, 압전성의 발생기구도 다르다. 따라서 2000℃ 이상에서도 압전성이 소실되지 않고 냉각도 필요치 않다. 九州계측기는 이미 제품화를 끝낸 상태로 사양에 따라 다르지만 100만엔 정도에서 공급한다 (CJ)