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포항공대 이문호 교수,나노구조 분석 원천기술 개발
  • 편집부
  • 등록 2005-05-02 21:35:07
  • 수정 2010-12-29 17:52:02
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차세대 반도체, 나노바이오칩, 유비쿼터스 시스템 등 미래 첨단 산업제품 개발을 앞당길 수 있는 나노구조 분석 원천기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다. 포항공대 화학과 이문호(포항가속기연구소 부소장) 교수 연구팀은 세계 최초로 몇십억분의 1미터에 불과한 ‘나노구조’를 방사광을 이용해 고정밀도로 분석할 수 있는 기술을 개발했다고 밝혔다. 이 기술을 활용하면 절단해야만 내부를 들여야 볼 수 있는 현미경과 달리 나노 물질을 파괴하지 않고 구조와 특성을 완벽하게 분석할 수 있다. 두께가 100 nm 정도인 반도체의 경우 각 층을 분해하지 않고 내부구조를 확인할 수 있어 현미경을 이용한 기존 공정을 획기적으로 개선할 수 있게 된다.

 

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