미츠호시벨트는 금 나노 미립자의 빛을 흡수하는 성질을 이용한 미세가공 프로세스를 확립했다. 금 나노 미립자를 분산한 폴리머를 이용하여 레이저 가공하는 구조. 빛의 흡수율이 높기 때문에 레이저의 출력을 밀리와트 단위까지 크게 삭감할 수 있다. 이론 상으로는 수 십 마이크로~100마이크로미터 단위의 가공이 가능하다고 한다. 나노 관련 분야의 신기술로서 화학분석용 칩이나 신제품의 시작 등으로 실용화해 나간다.
금 나노 미립자는 녹색광의 흡수율이 높다. 폴리머에 포함된 나노입자가 레이저 빛을 흡수하여 배열(排熱)하기 때문에 적은 출력으로 가공할 수 있다. 일반적인 레이저 가공에서는 킬로와트 단위의 출력이 필요하지만 이 프로세스에서는 밀리와트 단위면 되므로 원가절감으로 이어진다. 또 저출력의 레이저 가공기로도 가공할 수 있기 때문에 설비의 이니셜 원가 삭감효과도 기대할 수 있다.
이 회사는 이 프로세스를 이용하여 미세한 금형을 만들고, 길이 150마이크로미터의 바늘모양 구조체를 제작했다. 현재는 용도를 찾고 있는 단계이지만 이 프로세스로 연구개발 단계의 시작품 제작 가격의 절감을 전망할 수 있다는 점에서 신제품 등의 시작과정에서 수요가 있다고 보고 있다. 또 금 나노 미립자를 분산한 폴리머를 마스크 재료로 하여 유리 등에 도포, 블라스트 가공함으로써 수 십 마이크로미터의 골이 이는 미소시료분석용 칩을 제작. 마이크로터스나 라보온칩 등의 소형화·집적화된 화학분석 시스템에서의 실용화도 지향한다.
이 회사는 나노 관련 분야에서의 연구개발을 적극적으로 추진하고 있으며, 이미 유리용 투명착색제나 도료로 실용화하고 있다. 최근에는 질화알루미늄이나 알루미나 등 방열용 기판에 접착할 수 있는 구리 페이스트를 개발, 기판 메이커 5개사에 대해 샘플출하를 시작했다. 2010년도에는 나노 관련분야의 새 사업으로 연 매출 30억 엔을 목표한다. (NK)
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