일본의 오사카 Prefecture 대학의 연구진들은 SiO와 CO 증기를 사용하여 아르곤 분위기에서 SiC 나노 섬유를 합성하는 방법을 개발하였다. 기상 형성 원료는 실리콘과 흑연 파우더이다. 1250℃로 가열해 주면서 실리콘과 흑연 가루를 챔버 내에 있던 산소와 반응시키면 SiO와 CO 증기가 발생하게 된다. 이를 이용하면 지름이 10
~100nm, 길이가 10mm 이상인 SiC 나노 섬유가 흑연 기판에 대면적, 높은 밀도로 성장하게 된다. 나노 섬유는 두 축의 두 가지 상으로 구성되어있는데, 코어에는 β-SiC가 있고 그것을 비정질 SiO2가 둘러싸고 있는 형태이다. 이 나노 섬유 강화 세라믹 화합물, 금속기지 화합물, 폴리머기지 화합물에 응용될 것으로 보이는데, 이 공정은 대량 생산에 적합하다는 평을 받고 있다. (ACB)
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