DVD(디지털 다용도 디스크)의 후속이 될 차세대 광디스크로 소니와 파이오니아 등이 추진하는 ‘블루레이 디스크’와 東芝·NEC방식의 ‘HD DVD’가 표준규격의 자리를 다투고 있다. 얼마나 싸고 높은 효율로 디스크를 생산할 수 있는가가 쟁점의 하나. 독자기술을 무기로 아주 높은 정도로 디스크를 제조하는 장치를 개발한 파이오니아의 栗山 和巳 나노프로세스 연구부장에게 파이오니아사 기술의 특징과 앞으로의 전망 등을 들어보았다. 장치의 개요는? 실리콘 웨이퍼에 미세한 홈을 만들고 디스크의 원형으로 금형에 상당하는 마스터를 제조한다. 디스크의 원형으로 금형에 상당하는 마스터를 제조한다. 디스크의 용량을 결정하는 홈을 높은 정도로 팔 수 있다는 것이 특징. 홈끼리의 간격을 나타내는 트랙피치는 현행 DVD의 3분의 1인 230나노(나노는 1억분의 1)미터이다. 능력면에서는 DVD와 같아 직경 12센티미터의 디스크에 50기가(기가는 10억)바이트 이상의 정보를 담을 수 있다. 하이비전 방송을 5시간 녹화할 수 있는 용량이다. 현 단계에서는 50기가바이트의 디스크에 대응할 플레이어가 없어 장치의 성능을 완벽하게 살릴 수 없지만 능력의 여지를 확대하여 원료 대비 제품생산의 비율을 높일 수 있다. 어떻게 미세한 가공을 실현했는가 ? 종래의 자외선 레이저 대신에 파장이 300나노미터로 짧은 전자빔을 사용했다. 장치 상부에 부착한 열전계 방출형 에미터에서 가공용으로서는 큰 전류인 100나노암페어로 전자빔을 방출한다. 변조기 등으로 빔의 방향과 세기를 조정하여 회전하는 실리콘웨이퍼에 홈을 그려 나간다. 이 기술을 실용화할 수 있었던 것은 우리 회사뿐이다. 웨이퍼를 얹는 회전대를 제어하기가 어려웠으나 진공 실에어스핀들 모터라고 하는 특수한 모터를 사용하여 이 과제를 해결했다. 웨이퍼의 미묘한 위치차이를 조정하기 위해 0.6나노미터까지 측정할 수 있는 레이저 간섭계를 채용했다. 업계에 주는 영향은? 최대용량 27기가바이트(1층)의 블루레이를 제조할 경우, 현행 장치는 최소한의 가공정도로 소화하고 있다. HD DVD와 비교해서 블루레이는 디스크의 제조효율이 낮다는 것이 숙제. 특히 마스터의 가공정도를 높이는 일이 불가결하다. 디스크 메이커 등에 이 장치를 사용하게 하면 보급을 확대할 수 있다. 장치사업으로서의 전망은? 4월부터 장치제조 자회사인 파이오니아 FA(埼玉縣 鶴ヶ島市)에서 생산을 개시, 한 대 당 3억~4억 엔에 장치의 외판을 시작했다. 용도가 한정적이기 때문에 연내에 2대만 팔리면 다행이다. 하지만 레이저디스크(LD)의 노하우를 바탕으로 1993년부터 연구를 시작한 위치제어기술 등의 성과를 드디어 세상에 내놓을 수 있다. (NK)