도쿄의 니폰 전신, 전화 회사(NTT)는 3차원 나노 구조 제작과 10nm 이하의 나노 패턴 형성이 가능한 전자 빔(electron beam, EB) 사신식각 시스템을 개발했다. 새로운 기술은 특수 드라이브를 이용해 시편을 회전시켜, 광학 사진식각공정이나 X-ray빔을 사용한 공정보다 100배다 분해능이 좋은 EB 사진식각 공정을 한다. NTT는 높이 측정 시스템도 개발하였는데 시편의 어느 위치에서도 높이와 수평 위치 측정이 가능하다. NTT는 기술의 시범을 보이기 위해 세계 지도를 60㎛의 레진으로 된 구위에 세계에서 가장 작은 지구본과 30nm 지름의 작은 구멍이 뚫린 3차원 나노필터를 만들어 보여줬다. (ACB)