NTT는 10나노미터로 종래보다 100배 고분해능으로 시료를 3차원 가공하는 전자선 노광 기술을 개발했다고 발표했다. 2축 회전의 시료유지기구와 정밀한 위치결정 기술을 개발하여 실현했다. 전자선 레디스트로 만든 직경 60마이크로미터의 구형시료를 회전시키면서 세계지도를 그리며, 데모용으로 가장 작은 나노 지구의를 제작했다. 3차원 형상의 새 전자디바이스 등 널리 응용할 수 있다고 한다. 신기술은 전자선 노광장치에 시료를 2축 회전구동하는 유지대를 도입한 것. 2축 가운데 한 축은 360도 회전, 또 한 축은 최대 45도 회전할 수 있으며, 그 정도를 0.1도 이하로 낮추었다. 전자선을 한 점으로 모아 고정도화하기 때문에 XY 2차원 정보와 함께 높이 방향의 Z축 정보를 얻을 목적으로 공초점 레이저 현미경에 의한 높이 측정장치를 새로이 개발했다. 이로써 회전하는 미소한 나노시료에서도 높이 오차를 1~2마이크로미터 이내로 낮추었다. XY정보에 대해서도 시료 아래에 투과전자검출기를 놓고, 투과전자로 시료의 평면적인 윤곽을 계측, 20~30나노미터의 정도로 위치결정에 성공했다. 이로 인해 구상 레디스트로 전세계 지도를 약 2분이나 고속으로 그렸다. 묘화 패턴의 최소치수는 10나노미터. 실제 지구상의 2킬로미터에 상당한다고 한다. 또 이 회사는 나노 지구의 이외에 구형 레디스트를 입체적으로 가공하여 4면에 나노레벨의 망점(網點)을 가진 나노필터도 시작했다. 3차원 미세가공기술에는 지금까지 기상성장기술과 이온빔을 조합시킨 방법 등이 있었는데, 제작에 시간이 걸려 보다 복잡한 구조제작은 곤란했다. 신기술은 광노광 등 보다도 100배 고해상도의 전자선을 사용했다는 점에서 광전융합 디바이스와 바이오칩 등에 나노테크놀러지 분야의 새로운 3차원 가공법으로 활용할 수 있다고 한다. (NK)