神戶대학 대학원 자연과학연구과의 出來成人 교수와 신코스모스전기, 日本板硝子는 액층충전(LPI)법이라고 불리는 새로운 방법으로 나노미터 오더의 세라믹스에 의한 고감도 가스센서를 공동개발한다. 신산업창조연구기구(NIRO)가 전체를 관장한다. LPI법 및 LPD(액층석출)법은 出來 교수 등이 개발한 프로세스로 자기형성에 의해 나노오더에서 산화물을 성장시키는 ‘빌트업 방법’은 모두 처리용액 속에 기판을 침적시켜 각종 산화물의 박막을 얻는 간편한 방법이다. LPI는 LPD를 응용, 실리콘으로 미세형상의 틀을 만들고 수용액 속에서 산화물을 주입, 틀에서 빼내어 나노 구조를 얻는다. 산화티탄이나 산화주석 등 다종다양한 산화물의 석출을 확인하였다. 게다가 형상이나 사이즈, 조성의 제어도 간단하다. 두 방법을 조합시켜 가스센서에 응용을 모색한다. 방향족 VOC에 대한 선택성이 높은 검지가스체로 나노구조체를 만들면 실용성이 높은 센서를 개발할 수 있다. 나노세라믹스 형상의 최적화를 꾀함과 동시에 반응기구의 해명도 실행하여 조기에 프로세스를 확립한다. LPI법은 특별한 설비가 불필요하고 공정도 간단하므로 싼값에 제품화할 수 있으리라 보고 있다. (CJ)