나노미터 두께 측정가능한 X선 막후계(膜厚計) 理學電機(東京都 昭島市, 사장 志村晶)는 X선을 사용 1㎚레벨의 초박막이나 금속막의 막 두께를 측정할 수 있는, 300㎜ 웨이퍼 대응의 막후계 「GXR300」을 제품화하여 발매했다. 연구개발에서 프로세스에서의 측적용까지 폭넓게 사용할 수 있다. 가격은 6,500 ~ 7,500만엔. X선 간섭으로 게이트 산화막, 밸리어메탈막, 실리사이드막 등 금속박막이나 금속산화박막, 화합물 박막의 막후측정이 가능하다. X선 회절에서 결정성이나 배향성 평가 등 구조측정이 가능. 또 형광 X선에 의해 조성분석도 가능하다. 지금까지 개별 기기로 실시했던 측정을 1대로 규합, 측정시간과 원가를 삭감할 수 있다. (CJ)