질화붕소 피복한 두께 수십 nm의 나노전선 시험 제작 물질·재료연구기구의 板東義雄 주간연구원 등은 리드선처럼 금속선을 절연막으로 피복한 두께 수 십 ㎚의 나노전선을 시작(試作)했다. 내열성이 우수하고 잘 산화되지 않는 질화붕소 박막으로, 철니켈 합금 선재를 감쌌다. 신기술은 우선 니켈합금 기판을 넣은 용기 안에서 메탄가스와 수소를 약 1200℃ 반응시킨다. 그러면 기판 위에 탄소원자가 통 모양으로 연결된 두께 수십 ㎚ 길이 수㎛의 카본나노튜브가 다수 생긴다. 이 상태에서 이번에는 질소가스와 산화붕소를 넣고 약 1500℃에서 반응시키면, 철니켈 기판의 표면은 고온에서 융해하고, 카본나노튜브 안에 자연스럽게 들어가 철니켈 합금의 가늘고 긴 단결정이 된다. 동시 병행으로 카본나노튜브를 구성하고 있는 탄소원자가 붕소원자와 질소원자로 치환되어 질화붕소 나노튜브가 된다. 질화붕소 나노튜브는 板東주간연구원 등이 양산기술을 개발했다. 절연체로 탄소보다 열이나 산화에 강한 등의 우수한 특성이 있어, 카본나노튜브와는 다른 용도의 나노테크놀러지 신소재로 기대되고 있다. 단 이러한 높은 안정성 때문에 카본나노튜브처럼 안에 금속을 주입하기는 어려웠다. 이번 반응에서는 녹은 금속이 카본나노튜브에 들어가는 프로세스가 카본나노튜브가 질화붕소로 치환되는 프로세스보다 아주 조금 먼저 진행되기 때문에, 외견상, 1단계에서 금속 함입 질화붕소 나노튜브가 생겼다. 나노사이즈의 전선은, 나노전자 회로를 실현하는 기본 부품. 주위의 전선이나 소자와 접해도 전류가 합선되지 않으므로 신뢰성 높은 나노 전자회로가 실현된다. (CJ)