석영, 유리 등을 YAG레이저로 용융 접합하는 기술 개발
豊橋기술과학대학 생산시스템 공학계의 鈴木浩文 조교수 등은 YAG레이저로 석영이나 유리기판 끼리를 용융 접합하는 기술을 개발했다. YAG레이저가 유리를 투과하는데 주목, 용접 개소에 철 등 레이저 흡수제를 증착시키고, 거기에 레이저를 스포트 조사하여 발생한 열에너지로 용접하는 구조. 유리 표면, 내부의 손상이 발생하지 않으며 또한 굴절 없는 정밀한 접합이 가능하여 광학, 전자디바이스용 마이크로 글래스제 키파트인 정밀 어셈블리에 응용할 수 있다.
지금까지의 유리기판은 CO2 레이저에 의한 가열 용융 접합이나 접착제에 의한 접합이 일반적이었다. 가열 용융 접합은 유리 기판 전체를 가열하기 때문에 손상이나 굴절의 발색을 피할 수 없었다. 접합제 접합은 치수 정밀도나 생산성에 문제가 있었다. (CJ)
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